我國首臺自主知識產(chǎn)權(quán)硅傳感器在沈問世 (2005-12-22)
發(fā)布時間:2007-12-04
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日前,我國首臺具有自主知識產(chǎn)權(quán)的硅電容傳感器在沈陽問世。由沈陽儀表科學(xué)研究院研制的硅電容傳感器及硅復(fù)合傳感器將大規(guī)模投入生產(chǎn)。兩種產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)填補(bǔ)了國內(nèi)該項(xiàng)目空白,將改變我國企業(yè)一直靠進(jìn)口硅電容傳感器的歷史。