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“新一代無(wú)線通信用聲表面波(SAW)器件及材料研究”課題通過(guò)驗(yàn)收 (2005-12-09)

發(fā)布時(shí)間:2007-12-04 作者: 來(lái)源: 瀏覽:1562
日前,由中電26所、清華大學(xué)、中科院微電子研究所等共同完成的國(guó)家863 計(jì)劃特種功能材料主題“新一代無(wú)線通信用SAW器件及材料研究”課題通過(guò)驗(yàn)收。 “新一代無(wú)線通信用SAW器件及材料研究”課題就無(wú)線通信用聲表面波材料與器件開(kāi)展了系統(tǒng)研究,形成了一套完整的、具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的SAW器件關(guān)鍵材料、器件設(shè)計(jì)、工藝、測(cè)試和批生產(chǎn)技術(shù)。突破了大尺寸(Φ76×140)硅酸鎵?(LGS)單晶生長(zhǎng)驟變溫場(chǎng)技術(shù)、ZnO薄膜高精度定向生長(zhǎng)技術(shù)、SAW器件唯像模型(COM/P矩陣)設(shè)計(jì)仿真技術(shù)、微細(xì)線條(0.25μm)電子束直寫(xiě)技術(shù)等一系列SAW器件設(shè)計(jì)、工藝難題。該課題組已申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利9項(xiàng);申請(qǐng)國(guó)家實(shí)用新型專利(或國(guó)際專利)3項(xiàng),并全部獲得授權(quán);發(fā)表研究論文25篇,其中國(guó)外期刊13篇,EI和SCI上收錄15篇;出版著作1部。 以移動(dòng)通訊為主要特征的通信產(chǎn)業(yè)在二十一世紀(jì)將有巨大的市場(chǎng)需求和廣闊的發(fā)展前景。聲表面波(Surface Acoustic Wave-SAW)器件自上世紀(jì)六十年代出現(xiàn)以來(lái),已廣泛應(yīng)用在移動(dòng)通信系統(tǒng)、電視、廣播、第三代CDMA通信系統(tǒng)以及各類軍用雷達(dá)、通信系統(tǒng)中。特別是在以擴(kuò)頻技術(shù)為標(biāo)志的新一代寬帶無(wú)線系統(tǒng)中,SAW器件以其大寬帶、極佳的通帶選擇性、極小的帶內(nèi)畸變以及具有實(shí)時(shí)信號(hào)處理能力而獲得廣泛青睞,已成為新一代各類寬帶無(wú)線通信系統(tǒng)中不可替代的關(guān)鍵器件。
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