美國模擬器件公司(ADI)日前發(fā)布了3軸運動檢測微機電系統(tǒng)(MEMS)技術。該3軸iMEMS(集成MEMS)Motion Signal Processing技術能將包含薄的、魯棒性運動傳感器和先進的信號調理電路的非常小的低功耗3軸(XYZ)加速度計集成在一顆低功耗芯片上。帶有2軸和3軸MEMS運動傳感器的移動電話和其它便攜式設備都能對位置、方向和運動做出智能地響應。對于要求產(chǎn)品使用方便并且比較有趣的客戶，現(xiàn)在可以通過手勢而不是復雜的鍵盤來控制。其應用范圍覆蓋各種可能的應用，從游戲機接口、交互式地圖和步數(shù)器到很少見的功能，例如保護對沖擊敏感的部件(硬盤驅動器)以及通過智能管理功耗功能延長電池壽命。 ADI公司副總裁兼微機械產(chǎn)品部總經(jīng)理Bill Giudice表示：“在1998年，ADI公司曾經(jīng)率先推出了用于消費類產(chǎn)品運動和傾斜檢測的ADXL202，它是第一個用于視頻游戲控制器的低g單芯片雙軸加速度計，現(xiàn)在ADI公司的iMEMS Motion Signal ProcessingTM技術可用于包括網(wǎng)絡計算機、蜂窩電話、健康設備和運動設備等整個消費類應用。” 通過將專利設計和制造技術與經(jīng)過現(xiàn)場認證的iMEMS技術相結合，3軸加速度計具有能夠同時檢測X,Y和Z軸加速度創(chuàng)新的MEMS傳感器結構并且在一顆芯片上集成了帶有先進的信號調理電路的傳感器。自從1993年以來，采用ADI公司的iMEMS技術已經(jīng)生產(chǎn)出1.8億片加速度計，從而證明了ADI公司對大批量消費類產(chǎn)品OEM客戶易變要求的快速反應能力。低g加速度計發(fā)展路線圖滿足了便攜式消費類設備對減小印制電路板(PCB)面積，降低功耗，提高沖擊靈敏度和提高溫度穩(wěn)定性的要求，首款3軸加速度計產(chǎn)品采用小型4mm×4mm×1.45mm容易使用的面貼封裝。 自從ADXL202推出以來，ADI公司為特別注意價值的消費類市場不斷優(yōu)化低g運動信號處理技術。其中2軸ADXL311加速度計是用于大批量產(chǎn)品(例如筆記本計算機)的首款MEMS加速度計。在2004年，2軸ADXL320加速度計為多種便攜式應用建立了新的標準，它實現(xiàn)了小型薄封裝、低功耗和超高性能的完美結合。隨著對2軸運動和傾斜檢測的不斷發(fā)展，3軸檢測加速度計由于會更進一步擴展設計工程師的選擇必將加速MEMS技術的廣泛采用。