MKS Instruments為半導(dǎo)體和生物制藥應(yīng)用推小巧、低電流的壓力測量解決方案631B。631B采用超小型設(shè)計(jì)，其安裝外殼減小了40%，很容易設(shè)計(jì)到新型小巧處理工具中。正常工作時(shí)電流小于1A(比現(xiàn)有壓力計(jì)小50%)，631B完整的電路只要求±15Vdc輸入電壓，可降低板上電源費(fèi)用。此外，由于取消了互聯(lián)電纜產(chǎn)生的噪聲，性能獲得改善。這種全鉻鎳鐵合金電容傳感器有超級(jí)抗腐蝕能力，高額定過壓(45 psia)能力保證極好的可重復(fù)性和系統(tǒng)穩(wěn)定性，且與處理過程無關(guān)。 631B可用于半導(dǎo)體制造過程中要求最苛刻的真空處理過程，例如金屬蝕刻和氮化物化學(xué)氣態(tài)沉積。它還適用于生物制藥學(xué)處理設(shè)備，例如冷凍干燥機(jī)和用蒸汽抑制細(xì)菌生長的殺菌器。