日本Laserfront Technologies公司開發(fā)成功了電視液晶面板亮點和黑點缺陷修復(fù)率接近100％的激光修復(fù)檢測裝置。在此前的顯示器面板生產(chǎn)中，在TFT陣列工序的最后要進行檢測和修復(fù)，但存在的問題是玻璃底板上形成的下面一層檢測困難，修復(fù)率一直比較低。 此次在集成檢測裝置和修復(fù)裝置的同時還實現(xiàn)了在線嵌入設(shè)計，由此就能夠在TFT陣列工序中的柵極工序、源漏極工序和保護膜形成工序中，導(dǎo)入檢測修復(fù)裝置工序。這樣，最先形成的層也可實現(xiàn)輕松檢測，并提高修復(fù)率。而且，與原來相比，還提高了吞吐量。所有這些是通過將手動改為自動，并分別將定位、自動對焦和調(diào)節(jié)等的速度減小到原來一半來實現(xiàn)的。