上海光機(jī)所周常河課題組日前經(jīng)過長(zhǎng)期的探索、積累，在干法深刻蝕高密度石英光柵與達(dá)曼光柵飛秒測(cè)量技術(shù)研究中取得進(jìn)展。 石英光柵的精密加工需要通過干法刻蝕技術(shù)解決，其中采用高密度等離子刻蝕（ICP）技術(shù)對(duì)石英高密度光柵進(jìn)行精密刻蝕是一種先進(jìn)的干法刻蝕技術(shù)，但其同時(shí)也往往伴隨聚合物生長(zhǎng)的問題。 國(guó)際學(xué)術(shù)界目前對(duì)石英光柵采用ICP刻蝕工藝條件的報(bào)道不多。該所周常河課題組對(duì)石英的優(yōu)化刻蝕工藝技術(shù)取得重要進(jìn)展，光柵表面最深刻蝕4微米，沒有明顯的聚合物。其近期在美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)Applied Optics發(fā)表的論文報(bào)道了石英光柵干法刻蝕的優(yōu)化刻蝕條件，包括刻蝕氣體的滯留時(shí)間優(yōu)化控制問題與避免聚合物生長(zhǎng)的不同氣體優(yōu)化配比問題，但對(duì)精確優(yōu)化條件的確定還有待于進(jìn)一步探索。采用干法刻蝕技術(shù)，該課題組目前已經(jīng)加工出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的深刻蝕高密度石英光柵，正在進(jìn)行深入研究，加工出一系列的微光學(xué)元件，可以應(yīng)用于光纖波分復(fù)用技術(shù)、高強(qiáng)激光、光纖光柵位相板、偏振光學(xué)元件等諸多領(lǐng)域。本項(xiàng)目得到國(guó)家杰出青年基金和上海市光科技行動(dòng)計(jì)劃的資助。 同時(shí)，該課題組在研究飛秒測(cè)量?jī)x器問題時(shí)，把達(dá)曼光柵作為研究的核心，提出了具有原創(chuàng)性的三個(gè)反射達(dá)曼光柵飛秒測(cè)量結(jié)構(gòu)。利用達(dá)曼光柵進(jìn)行激光分束，避免了使用傳統(tǒng)半透半反分束鏡，利用光柵對(duì)消除角色散，有效實(shí)現(xiàn)了對(duì)飛秒脈沖的測(cè)量。由于其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，對(duì)飛秒測(cè)量具有重要的意義，該成果已申請(qǐng)發(fā)明專利，實(shí)驗(yàn)結(jié)果在美國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)電子刊物Optics Express上發(fā)表。該項(xiàng)目得到了國(guó)家杰出青年基金和中科院儀器研制項(xiàng)目的資助。周常河課題組已經(jīng)為相關(guān)課題的多種飛秒激光器進(jìn)行了測(cè)量，并準(zhǔn)備對(duì)更短、更復(fù)雜的飛秒脈沖開展測(cè)量工作，為發(fā)展我國(guó)的先進(jìn)飛秒測(cè)量技術(shù)做出貢獻(xiàn)。