激光調(diào)阻機(jī)是集光學(xué)、精密機(jī)械、電子學(xué)、計(jì)算機(jī)控制、精密測(cè)量等多種學(xué)科于一體的高技術(shù)加工設(shè)備，是片式電阻生產(chǎn)線中最關(guān)鍵的一種設(shè)備。具有精度高、效率高和工藝簡(jiǎn)便等特點(diǎn)，可實(shí)時(shí)測(cè)量調(diào)阻的結(jié)果，實(shí)現(xiàn)激光加工過程的自動(dòng)化。 目前，國(guó)際上只有美國(guó)ESI(Electro Scientific Industries,Inc.)公司、GSI(General Scanning,Inc.)公司和日本NEC公司能夠生產(chǎn)用于微小片式電阻生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)。 長(zhǎng)春光華微電子設(shè)備工程中心有限公司承擔(dān)的2003年度吉林省科技發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目“高性能激光調(diào)阻機(jī)的研制”通過鑒定，鑒定委員會(huì)認(rèn)為：項(xiàng)目組針對(duì)0402型微小片阻攻克了高速高精度光學(xué)掃描定位技術(shù)、高質(zhì)量聚焦光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)、基于圖像識(shí)別系統(tǒng)的位置誤差修正技術(shù)及高速低噪檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)技術(shù)，研制出新一代激光調(diào)阻機(jī)；研制的高性能激光調(diào)阻機(jī)產(chǎn)品樣機(jī)在總體性能上達(dá)到了國(guó)際同類產(chǎn)品的先進(jìn)水平。 光華公司已開發(fā)出三種型號(hào)四種類型的激光調(diào)阻機(jī)，并先后有十臺(tái)設(shè)備在廣東風(fēng)華高科有限公司和臺(tái)企華騰（蘇州）電子有限公司的生產(chǎn)線上使用。正在進(jìn)行具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的0402、0201片式電阻器激光調(diào)阻機(jī)的產(chǎn)業(yè)化，力爭(zhēng)把公司建成我國(guó)激光調(diào)阻機(jī)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化基地。